Diese Vakuumbedampfungsanlage wurde gebaut, um Objekte mit Metallen bedampfen zu können.
Sie ist zur Bedampfung von Glasplättchen mit Calcium konstruiert worden, wie man es bei
der Herstellung von organischen Leuchtdioden benötigt. Getestet habe ich sie jedoch auch mit
Aluminium und Kupfer, was ebenfalls funktionierte. Ein beheizbarer Tisch im Inneren
des Glaskolbens bietet die Möglichkeit, Objekte vor dem Bedampfen bei einer genau
definierten Temperatur im Vakuum zu trocknen.
Vakuumbedampfungsanlage
Die Bedampfungsanlage besteht aus einem Glaskolben, in welchem ein beheizbarer
Tisch angebracht ist. Zur Temperatursteuerung wird der
digitale Thermostat
verwendet. Über dem Heiztisch ist ein Stecksockel für den Glühwendel angebracht.
Als Glühwendel wird eine 50- oder 75-Watt-Halogenbirne für 12 Volt verwendet,
bei welcher der Glaskolben entfernt wurde. Diese Art von Glühbirnen haben einen
sehr stabilen Glühwendel, der zudem einen großen Innendurchmesser hat. Das zu
verdampfende Metall wird in den Glühwendel gesteckt.
Einstellung der Temperatur des Tisches und der Heizleistung der Glühspirale
Die Bedampfungsanlage wird
an eine Öl-Drehschieberpumpe angeschlossen, die ein Vakuum von ca. 0,001 mbar erzeugt.
Wegen dem kurzen Abstand zum zu bedampfenden Objekt reicht dies problemlos aus, um
schöne Beschichtungen zu erhalten. Über einen Sackhahn an der Rückseite kann das Vakuum zugeschaltet werden,
ein weiterer Hahn dient zum Belüften des Kolbens.
Heiztisch mit darüber liegendem Stecksockel für den Glühwendel
Zur Einstellung der Heizleistung des Glühwendels wurde der
PWM-Leistungsregler verwendet. Die Heizleistung
wird von Hand so geregelt, dass das Metall innerhalb von ca. 10 Sekunden verdampft und sich auf dem Substrat
niederschlägt, welches auf dem Heiztisch liegt. Der Bedampfungsvorgang kann durch den Glaskolben direkt beobachtet
werden. Gelegentlich ist eine Reinigung des Glaskolbens notwendig, da sich das verdampfte Metall auch auf selbigem
niederschlägt und ihn von innen verspiegelt, so dass der Bedampfungsvorgung zunehmend schlecher beobachtet werden
kann.
